追流向 與日半導體國家隊密切
日商TEL台灣員工涉入 公司為Rapidus股東 韓學者曾對其未公布製程細節存疑

台積電2奈米製程爆出機密資料外洩事件,資料流向日商東京威力科創(Tokyo Electron Limited,TEL)。TEL也是日本晶片新創公司Rapidus的股東,而日本政府一方面邀請台積電赴日設廠,同時全力扶植Rapidus為「半導體國家隊」,後者近期還宣布2奈米試產成功,與台積電競爭關係引人側目。
據透露,該案共有9名台積電員工涉案,其中3人屬於2奈米試產人員。其中在竹科廠的2名吳姓工程師,勾結陳姓前工程師,利用手機拍攝大量資料,將2奈米晶片製程技術機密,透過管道洩漏給TEL。一名TEL設備工程師也涉案,此人過去也在台積電任職,在事情曝光之後,已經離開TEL。對此,位於新竹科學園區的「東京威力科創台灣」5日表示,不予置評。
TEL成立於1963年,是日本半導體設備商龍頭,也是世界第三大半導體製造設備提供商,1996年在台灣成立分公司為「東京威力科創台灣」(TEL台灣)。而說服日本政府以及八大民間企業集團聯手,砸下重金全力支持Rapidus,關鍵人物就是TEL前會長兼社長東哲郎。
除了成功爭取台積電赴熊本設晶圓廠,日本政府以官民合資國家隊之姿,於2022年8月成立日本自己的晶圓代工廠Rapidus,設定目標直指2奈米先進製程,希望2027年開始量產。Rapidus並傳出與台積電爭人才。
Rapidus去年12月導入EUV設備,今年4月啟動試產,但到7月就一鳴驚人地宣布成功試產2奈米晶片,只花了台積電或韓國三星尋常試產流程1/3到1/4的時間,消息席捲半導體業。這也讓1980年代輝煌一時的日本半導體業,看見重返榮耀的希望。
韓國學者則質疑,Rapidus在極短時間內宣布2奈米試產成功,卻未公布製程工藝細節,而且Rapidus採單晶圓處理模式,根本不敷成本,勢必難以生存。
對於台積電近年陸續赴海外設廠,技術是否有外洩風險,台積電董事長魏哲家在今年6月3日股東會上曾給出明確且充滿信心的回應:「不會」。
魏哲家當時解釋,公司核心技術是由1萬名研發工程師長期努力的結晶,再加上生產線工程師持續的技術改進與優化。這種深度整合的技術體系,絕非簡單技術竊取所能獲得。